超聲波清洗技術最早出現于20世紀30年代初，由美國新澤西州的美國無線電公司的技術人員提出。國外超聲波清洗設備種類繁多，超聲波清洗設備應用廣泛，各種超聲波清洗設備不斷創新。高頻超聲波清洗技術在國外超聲波清洗設備中占有很大比例，用于清洗小芯片，可清除0.15mm的污染物。我國超聲波清洗技術研究較早，超聲波清洗技術發展迅速，應用廣泛，清洗技術綜合利用方法多樣化：一是從單缸機到多缸機或自動超聲波清洗生產線；二是從低頻超聲波清洗機到高頻超聲波清洗機。

1）聚焦清洗：局部區域可發生高強度超聲波，工作頻率為15、20、28kHz。聚焦清洗可以彌補超聲能量不足造成的普通超聲清洗不徹底清洗。

2）超聲波振動清洗：超聲波通過變幅桿和振動頭傳輸到需要清洗的物體。最后，由于高速振動物體表面污染物脫落，達到清洗效果。這種新方法與普通超聲波清洗方法的區別在于不需要清洗液。

3）多頻清洗：物體由多頻換能器同時發生不同頻率的超聲波清洗。不同的超聲波頻率對物體有不同的清洗效果。低頻超聲清洗物體表面的污染物，高頻超聲清洗內部的小污染物，高頻低頻清洗物體。

4）掃描頻率和跳躍頻率清洗：兩者都改善了超聲波清洗容器中超聲波場的結構。掃描頻率可以改善清波場，使物體清洗得很好。跳頻和多頻可根據實際情況選擇高頻和低頻。不同之處在于，跳頻是一種有兩種頻率的換能器，根據需要選擇頻率。

5）多槽自動聯合清洗：是多槽聯合智能控制，降低勞動強度，提高綜合效率的智能設備。它可以根據不同的情況、不同的頻率、功率等超聲波，以最低的成本達到最佳的清洗效果。

6）兆赫超聲波清洗：這種高頻清洗方法的清洗原理是利用聲能產生的液體流動來清洗污件，而不是傳統的使用超聲波空化效應來實現清洗目的。兆赫超聲波清洗不會因空化效應而產生強大的清洗力。因此，其優點是體積小、易損壞的集成芯片可以很好地清洗和保護設備，廣泛應用于電子元件清洗領域。

與其他清洗技術相比，超聲波清洗技術有許多優點。由于自動化程度低，傳統的超聲波清洗機難以保證設備清洗的均勻性。近年來，自動化程度高、靈活性強的超聲波清洗機逐漸出現。該清洗設備將超聲波清洗與化學清洗、漂洗、脫水、干燥等工藝相結合，采用PLC控制傳動、干燥、清洗，不僅實現了超聲波清洗的自動控制和批量操作，優化了清洗工藝，提高了清洗質量，而且具有很高的清洗效率。